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보도자료

아리랑TV [#Korea 4.0] 반도체 제조장비 국산화에 앞장서다


□ 방 송 : 2020년 1월 29일 수요일 오후 10시 30분~
□ 진 행 : 정세미 아나운서 (Jung Sae mi)
□ 게스트 : 배근한 영진아이엔디 대표, 박종진 영진아이엔디 부장

자동차, 공장 등에서 배출되는 온실가스로 인한 지구 온난화 문제가 점점 심각해지고 있다. 4차산업 혁명의 핵심인 반도체 제조 과정에서도 유해가스를 사용하기 때문에 세정과정은 필수다. 유해가스를 제거해 공기오염을 제어하는 장치를 바로 스크러버라고 부르는데.. [#Korea 4.0]에서는 기존의 방식이 아닌 플라즈마 방식의 스크러버를 세계 최초로 상용화한 영진아이엔디를 찾아가, 플라즈마 스크러버의 원리와 장점 등 반도체 장비 국산화를 위해 어떤 노력을 이어왔는지 알아보았다.

반도체 제조과정 중, 식각, 증착 공정에서는 이산화탄소보다 수천 배에서 수만 배까지 온난화 유발지수가 높은 과불화화합물(PFC)을 사용한다. 때문에 가스를 정화시켜 외부로 배출하는 장치, 스크러버는 필수인데.. 배근한 영진아이엔디 대표는 “처리가 가장 힘들다고 하는 PFC가스 정화처리를 주목했었다”며 세계 최초로 플라즈마 스크러버를 상용화한 계기를 밝혔다.

제4의 물질로 불리는 플라즈마로 유해가스를 정화시키는 원리는 무엇일까? 배근한 대표는 “플라즈마는 기체보다 더욱 높은 에너지를 가진 상태로, 번개, 오로라, 태양 등이 플라즈마 상태의 대표적인 예”라고 설명했다. 이어 “유해가스를 분해하기 위해서는 플라즈마와 같은 높은 에너지원이 필요하기 때문에, 플라즈마 스크러버의 핵심부품인 PGRM에서 N2가스를 사용해 3000도 이상의 플라즈마를 생성한다”고 전했다. 높은 열의 플라즈마가 발생하면 플라즈마와 폐가스가 반응해 무해가스로 분해시키는 것이 플라즈마 스크러버의 원리인 것! 높은 유해가스 처리 효율과, 다른 방식의 스크러버보다 장비를 쉽게 끄고 켤 수 있다는 점은 영진아이엔디 스크러버만의 기술력이라고 하는데.. 박종진 영진아이엔디 부장은 “현재 고객의 니즈에 맞게 전력을 낮추고, 소형화시킨 장비도 개발 중”이라며 영진아이엔디가 나아가고자하는 방향을 전했다.

영진아이엔디의 플라즈마 스크러버는 국내는 물론 해외에서도 많은 수출 성과를 내고 있다. 현재까지 중국을 포함해 수천여대의 장비를 납품하는 중이라는 배근한 대표는 “비포서비스부터 애프터서비스의 개념을 도입하여, 보다 완벽하고 무결점의 장비를 개발하는 것이 목표”라며 스크러버 산업의 발전에 기여할 것이라는 포부를 밝혔다. 2000년대 초부터 반도체 제조 장비를 연구 개발하고 있는 영진아이엔디의 배근한 대표는 “적정인력 확보 어려움, 낮은 영업 이행률 등”을 중소기업이 마주한 어려움으로 꼽으며,, “중소기업 전용 테스트베드 설치”를 통한 정부의 투자와 지원을 강조했다.

[반도체 제조장비 국산화에 앞장서다]는 1월 29일 수요일 오후 10시 30분 아리랑TV에서 방송된다.
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